osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)TG907M/TG1307M
osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)TG907M/TG1307M
新型磁力軸承式渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特點(diǎn)
省電設(shè)計(jì)
操作數(shù)據(jù)、觸地次數(shù)、型號信息等可保存在主機(jī)中 * 即使在檢修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。
用法
半導(dǎo)體制造設(shè)備
FPD制造設(shè)備
太陽能電池制造設(shè)備
玻璃/透鏡等光學(xué)零件加工
膠片加工
加速器/空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
■ 可在大氣壓力下連續(xù)運(yùn)行
打開時排氣速度 800L/min
■ 可能吸入蒸氣
蒸汽處理量 500g/hr
■縮短排氣時間
保持恒定的排氣速度直到到達(dá)近點(diǎn)
■ 風(fēng)冷規(guī)格
用法
?小型實(shí)驗(yàn)用真空
?load lock chamber抽真空、輸送
、分析、測量設(shè)備、吸附、輸送
、
加速器排氣
、密封、密封
、電子槍源、離子槍源排氣
、干燥
、濺射沉積等PVD設(shè)備的輔助泵排氣
、小爐排氣
、 TMP等高真空泵
| 模型 | FR060D | ||
| 抽速(L/min) | 最大限度 | 1000 | |
| 開放運(yùn)營 | 800 | ||
| 極限試驗(yàn)壓力（Pa） | 一般來說 | 1.0 | |
| 氣鎮(zhèn) | 2.0 | ||
| 連接格式 | 進(jìn)氣口 | (西北) 40 | |
| 排氣口 | (西北) 40 | ||
| 最大水蒸氣處理量*1 (g/hr) | 500 | ||
| 潤滑劑體積 (mL) | 90后 | ||
| 功耗（千瓦） | 在極限壓力下 | 1.1 | |
| 最大限度 | 1.3 | ||
| 電源 | 電壓（V） | 200-240 | |
| 頻率（赫茲） | 50/60 | ||
| 相數(shù) | 單相/三相 | ||
| 允許電壓波動*2 | ±10% | ||
| 功率容量(kVA) | 3.0 | ||
| 電流 (A) | 單相 | 11.1 | |
| 三相 | 6.5 | ||
| 冷卻方式 | 空氣冷卻 | ||
| 大約質(zhì)量 (kg) | 75 | ||
| 環(huán)境溫度（℃） | 5-40 | ||
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