ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 泵 DAU-20
ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 泵 DAU-20
膜片泵通過(guò)橡膠膜片的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無(wú)油環(huán)境設(shè)計(jì)、因此維護(hù)簡(jiǎn)單。
根據(jù)您對(duì)壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計(jì)。
特點(diǎn)
價(jià)格低廉，銷(xiāo)售量多的標(biāo)準(zhǔn)型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
單級(jí)排氣系統(tǒng)比兩級(jí)排氣系統(tǒng)更快。
具有鎖定保護(hù)和過(guò)流保護(hù)功能等安全設(shè)計(jì)。
大氣壓下可以運(yùn)作。
用途
真空吸盤(pán)，晶圓和處理設(shè)備。
真空鑷子，科研。
印刷設(shè)備。
自動(dòng)包裝機(jī)。
光學(xué)器具。
半導(dǎo)體行業(yè)。
注塑機(jī)。
膜片泵通過(guò)橡膠膜片的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無(wú)油環(huán)境設(shè)計(jì)、因此維護(hù)簡(jiǎn)單。
根據(jù)您對(duì)壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計(jì)
特點(diǎn)
價(jià)格低廉，銷(xiāo)售量多的標(biāo)準(zhǔn)型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
兩級(jí)排氣系統(tǒng)與單級(jí)排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力（良好的真空）。
內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計(jì)。
大氣壓力下可運(yùn)作。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。
Unit 50Hz 60Hz 有效排氣速度L/min 120 145 極限壓力Pa (kPa) 3.3×10 3 （-98.0） 使用電動(dòng)機(jī)単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run 全負(fù)荷電流A 4.8 5.8 重量kg 26.0 吸?排氣口徑mm ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) 使用環(huán)境溫度范圍℃ 0～40 最大尺寸mm 193.5(W)×411(L)×285(H)
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