ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X
ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X
管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統(tǒng)、壓力測(cè)量口等必要機(jī)器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。
使用簡單、適合用于實(shí)驗(yàn)。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。
使用簡單、適合用于實(shí)驗(yàn)。
特點(diǎn)
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
使用三通閥，組件更少，維修更容易。
真空計(jì)等配件可以安裝在同一個(gè)架臺(tái)上。
空冷型，不需要冷卻水。
帶有輪子，易于移動(dòng)。
配有調(diào)節(jié)器，可以確保安裝的安全性。
規(guī)格
| 型號(hào) | VPC-053 |
極限壓力 | 7.0×10-４Pa 1.5×10-４Pa（使用液氮時(shí)） |
主泵 | 油擴(kuò)散泵（空冷） 50 L/sec |
輔助泵 | 油回轉(zhuǎn)真空泵 20 L/min |
メイン閥門 | 25A蝶閥 |
輔助閥門 | 三通閥 |
吸氣口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸?。╓×D×H） | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統(tǒng)、壓力測(cè)量口等必要機(jī)器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。
使用簡單、適合用于實(shí)驗(yàn)。
DEPOX系列有不同排氣系統(tǒng)構(gòu)造的4個(gè)類型。
使用簡單、適合用于實(shí)驗(yàn)。
特點(diǎn)
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
使用三通閥，組件更少，維修更容易。
真空計(jì)等配件可以安裝在同一個(gè)架臺(tái)上。
空冷型，不需要冷卻水。
帶有輪子，易于移動(dòng)。
配有調(diào)節(jié)器，可以確保安裝的安全性。
規(guī)格
| 型號(hào) | VPC-053 |
極限壓力 | 7.0×10-４Pa 1.5×10-４Pa（使用液氮時(shí)） |
主泵 | 油擴(kuò)散泵（空冷） 50 L/sec |
輔助泵 | 油回轉(zhuǎn)真空泵 20 L/min |
メイン閥門 | 25A蝶閥 |
輔助閥門 | 三通閥 |
吸氣口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸?。╓×D×H） | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
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