半柜式/全柜式清洗機

清洗機，用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護時生成或侵入的污染物；也可以適用于對工作油液的定期維護過濾，提高清潔度，避免或減少因污染而造成的故障，從而保證液壓系統(tǒng)設(shè)備的高性能、高可靠度和長壽命。

產(chǎn)品介紹
 適合于8英寸及以下晶圓的單片清洗工藝
根據(jù)客戶要求可選配高壓、兆聲、二流體等多種清洗工藝
不銹鋼半柜式、柜式柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
可配置清洗液、氮氣溫控功能
可配置增壓泵高壓清洗
高精度清洗臂,可靈活設(shè)置清洗工藝

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-3000rpm

加速度范圍:20-5000rpm/s

清洗管路：≤3

設(shè)備尺寸：1100mm(W)*600mm(D)*1100mm(H）