沈陽科晶 PCE-6V 小型等離子清洗機
儀器概述：
PCE-6V 小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
主要技術特點：
1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。
2、可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物。
3、清洗程度可達到分子級。
4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。
6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。
7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。
主要技術參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | PCE-6V小型等離子清洗機 |
技術參數(shù) | 1、電壓：AC220V 10A 2、消耗功率：<500W（包括真空泵） 3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz 4、腔體：?190mm×98mm 5、石英管：?180mm×55mm，壁厚7mm 6、內(nèi)腔：?165mm×55mm 7、清洗電極：?120mm 8、樣品臺：?150mm，有效尺寸?140mm 9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調(diào) 10、抽氣管：?12mm 11、極限真空度：0.1Pa 12、工作真空度：60Pa-500Pa 13、氣路數(shù)量：2路（選裝） 14、流量控制器數(shù)量：1、2 15、流量顯示儀：2通道 16、氣路接口：?6mm 17、加熱樣品臺：?140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） 18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa 19、工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） 2、重量：20kg（不含真空泵） |
可選配置 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2個通道） |
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