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日本電子技研iwatsu電容式位移計(jì)ST-3541

ST-3541采用“無源型"，探頭中沒有內(nèi)置電路。因此，穩(wěn)定性大大提高。此外，由于沒有電路部件，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu)。
它是納米位移測(cè)量，精密工作臺(tái)位置檢測(cè)/姿態(tài)控制，平面度和厚度測(cè)量的理想選擇。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測(cè)量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃。
您可以看到已經(jīng)進(jìn)行了12小時(shí)的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定測(cè)量。

[圖] ST-3541 + ST-0403-100穩(wěn)定性數(shù)據(jù)

實(shí)現(xiàn)高分辨率測(cè)量

z大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進(jìn)電信號(hào)驅(qū)動(dòng)的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進(jìn)信號(hào)，也可以很好地檢查響應(yīng)。

1nm步進(jìn)
波形：頻率0.15Hz步進(jìn)寬度1nm。
頻段設(shè)定：100Hz

線性度0.05％

通過使用不需要線性化器的測(cè)量方法，可以實(shí)現(xiàn)出色的線性度。

較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內(nèi)置電路，因此尺寸已大大減小。
這大大擴(kuò)展了結(jié)合到測(cè)量系統(tǒng)中的自由度。
使用的連接電纜，可以
在通道之間進(jìn)行同步操作。即使使用多臺(tái)設(shè)備，也可以通過連接通道進(jìn)行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測(cè)量結(jié)果。
您可以減少系統(tǒng)構(gòu)建的成本。
當(dāng)使用多個(gè)通道時(shí)，只有通過按需供電才可以擴(kuò)展，因此可以降低系統(tǒng)構(gòu)建成本。