日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900
總覽
下一代濕法HORIBA通過控制化學藥品濃度來提高產量并優(yōu)化工藝。
為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制，我們實現了滿足現場需求的z佳功能，例如穩(wěn)定的測量精度，考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。
特征
實現*的非接觸式和高穩(wěn)定性
外部直接連接到PFA管道的*傳感器結構消除了污染的風險。此外，它消除了安裝傳感器時的管道工作需求，并消除了化學泄漏等事故的風險。此外，通過更新傳感器的光學系統(tǒng)，我們實現了小型化，同時保持了與常規(guī)產品（CS-600F * 1）相同的可重復性和穩(wěn)定性。
高質量和穩(wěn)定的測量
Contami風險為“零"
重現性和穩(wěn)定性相當于傳統(tǒng)產品CS-600F * 1
糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數變化
采用HORIBA獨chuang的算法來糾正氣泡的影響
抑制振動效果
采用HORIBA獨chuang的光學系統(tǒng)結構，可防止管道固定和未對準
節(jié)省空間
將光源和光譜儀集成到電池單元中
顯示器使用面板安裝類型（9.6厘米x 9.6厘米）
延長光源壽命
采用LED燈，使用壽命更長（5年保修）
改善工作安全
半年一次的BG校正周期
由于安裝傳感器時無需安裝管道，因此降低了發(fā)生化學泄漏等事故的風險。
* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學濃度監(jiān)測儀。
由于不使用光纖的光學設計以及放大器和傳感器的小型化，增加了安裝布局的靈活性
實現直接和穩(wěn)定的化學物質測量（20°C至80°C）
■穩(wěn)定性
測量條件
測量周期：每3秒測量時間：1小時
移動平均值：16次溫度：室溫管徑：3/4英寸
樣品濃度（在測量開始時）
NH 3：0.95％H 2 O 2：5.15％H 2 O ：93.9％
測量結果作為
樣品（實際溶液）的1小時的測量結果，顯示出良好的穩(wěn)定性。
日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900
規(guī)范
產品名稱 | 非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900 | ||||
模型 | CS-900 | ||||
測量原理 | 吸收光譜 | ||||
濃度計算方法 | 溫度補償多元分析方法 | ||||
測量范圍/ | 型號名稱 | 成分名稱 | 測量范圍 | 重現精度 | 模擬量輸出范圍 |
CS-900-1P-1P25P5 | NH 3 | 0.00％-1.20％ | ±0.05％ | 0.00-10.00 | |
H 2 O 2 | 0.00％-5.50％ | ±0.10％ | 0.00-10.00 | ||
高氧2 | 93.3％-100.0％ | ±1.0％ | --- | ||
CS-900-1P-P8P8 | NH 3 | 0.20％-0.80％ | ±0.03％ | 0.00-1.00 | |
H 2 O 2 | 0.20％-0.80％ | ±0.03％ | 0.00-1.00 | ||
高氧2 | 98.4％-99.6％ | ±0.3％ | --- | ||
測量條件 | 1）測量周期：大約3秒 | ||||
管道* 1 | PFA管道1英寸或3/4英寸 | ||||
樣品溶液條件* 2 | 化學溶液溫度：20-80°C化學 | ||||
電源供應 | DC24V | ||||
消耗功率* 3 | 約30W | ||||
大眾 | 顯示：約0.9Kg | ||||
外形尺寸（寬x深x高） | 顯示：96 x 135 x 96 mm | ||||
傳感器單元安裝角度 | 前后方向：±3度以內，左右方向：0-90度 | ||||
光源壽命 | 5年 | ||||
通訊 | 并行I / O，RS-232C，模擬輸出 | ||||
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