lintec低壓差質(zhì)量流量控制器MC-3000S
低壓差質(zhì)量流量控制器，最小工作壓差為800Pa。
專有的環(huán)境溫度補償型傳感器低壓降規(guī)格和 ±1% F.S 的精度降低了壓降。
壓電陶瓷執(zhí)行器閥，可在低壓差下實現(xiàn)精確的流量控制和穩(wěn)定性。
特點
低壓差 （800Pa）
工作溫度 5~50°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度補償傳感器
RS-485 通信
選擇
微流 F.S.
使用示例
低蒸氣壓氣體溫度下的流量控制
MC-3000S是一款低壓質(zhì)量流量控制器，如果二次側(cè)通過其專有的低壓降結(jié)構(gòu)進行抽真空，即使在室溫下也能對H2O等液體原料進行流量控制。 推薦使用ITO濺射方法，該方法將少量水蒸氣發(fā)送到真空室。 此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），也可以進行流量控制。
減壓罐船（SDS集裝箱）的流量控制
離子注入機中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用安全輸送源（SDS）容器來安全穩(wěn)定地供應(yīng)它們。 SDS填充的罐壓低于大氣壓，需要能夠在低壓差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結(jié)構(gòu)，可在低至 800 Pa（6 Torr）的壓差下實現(xiàn)流量控制。
lintec低壓差質(zhì)量流量控制器MC-3000S
規(guī)格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標(biāo)準(zhǔn) | 最高 F.S. | 密封 |
| 5~50°C | 800帕 | 133kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過選項進行更改。
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