日本 acxys 等離子體設(shè)備ULCoat系列
通過(guò)在放電后向等離子體中注入前驅(qū)體，ULCoat系列可以在處理過(guò)的表面上沉積薄膜。
ULCoat是一款可將前驅(qū)體汽化并注入等離子體中，后由噴嘴完成薄膜沉積的系統(tǒng)。ULCoat系列需要與ULS OMEGA系列配合使用。
ULCoat系列的標(biāo)準(zhǔn)版本是為了允許使用有機(jī)金屬作為前驅(qū)體進(jìn)行氧化硅（SiOx）的沉積而設(shè)計(jì)的。當(dāng)然，我們也可以根據(jù)要求開(kāi)發(fā)其他薄膜成分。
您可以與我們的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室合作，在研發(fā)合同的框架下，定制您的專屬解決方案。
ULCoat系列技術(shù)特點(diǎn)
– 與ULS OMEGA系列搭配使用
– 薄膜沉積
– 沉積厚度范圍從50至1000納米
– 沉積薄膜厚度均勻（+/- 2%）
– 中高處理速度可達(dá)200nm.cm2/s
– 專為氧化硅(SiOx)的沉積進(jìn)行優(yōu)化
噴嘴
在注入等離子體之前，液態(tài)前驅(qū)體的流速是可以控制的。該模塊由幾個(gè)部分組成。
– 前驅(qū)體儲(chǔ)存罐
– 前驅(qū)體流量控制單元
– 氣體流量控制單元
– 加熱器模塊（可選）
直觀的數(shù)字觸控屏
– 內(nèi)置觸摸屏（OEM版本除外）
– 直觀的控制方式
– 多語(yǔ)言界面
– 故障檢測(cè)和診斷
– 實(shí)時(shí)顯示指令
適用氣體
– 空氣
– 氮?dú)?/span>
– 其他混合氣體
日本 acxys 等離子體設(shè)備ULCoat系列
ULCoat系列的優(yōu)勢(shì)
– 工作溫度低
– 沉積薄膜厚度均勻（+/- 2%）
– 可以研究其他類型的沉積
– OpenFlow版本可用于開(kāi)發(fā)新的沉積工藝
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