煙臺日特測量儀器有限公司
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FCS即流量控制系統(tǒng)（FlowControlSystem），是專為確立近年來半導(dǎo)體制程中，越來越受重視的蝕刻速率（ETCHRATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品
FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專為確立近年來半導(dǎo) 體制程中，
越來越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定 性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品。
基本操作原理有別于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計， 這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。
FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提 供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。
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