晶圓容積70L無塵無氧箱SECSGEM系統(tǒng)烘箱

普遍應(yīng)用于航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。

主要特點(diǎn)：箱體選用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節(jié)能等特點(diǎn)，優(yōu)良的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐箱溫度均勻，吸風(fēng)口玻纖過濾器，確保潔凈度的要求。

一、無塵烘箱特點(diǎn)：

1.采用智能控制系統(tǒng),可對(duì)接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求，操作方便！

2.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；

3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免

烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE；

5.美國進(jìn)口H.E.P.A 裝置，過濾效率99.99%，Class 100,

6.完善的保護(hù)措施，漏電斷路器/超溫保護(hù)/欠相保護(hù)/馬達(dá)過載電流保護(hù)/機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器

安全可靠！

二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)： 

1.電源：AC380V 3φ 50Hz

2.無塵等級(jí)：Class 100；

3.溫度范圍： 常溫+60～250℃；

4.溫度均勻度：±1.5% （空載）

5.升溫速度：>5℃/min ，升溫斜率可控，升溫速度可以通過加熱系統(tǒng)控制調(diào)節(jié)。

6.降溫：風(fēng)冷夾層降溫，200℃～ 120℃，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘。

7.電磁鎖：啟動(dòng)設(shè)備運(yùn)行中，電磁門鎖鎖門，運(yùn)行未結(jié)束，人工不能開門。

三、*可靠的測控系統(tǒng)

溫控裝置：智能控制系統(tǒng),歐姆龍PLC+PC工控（可聯(lián)網(wǎng)，對(duì)接MES及SECSGEM）

          程式編輯：可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式可編99段，共1200段

          歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)

          六點(diǎn)溫度記錄

四、規(guī)格尺寸多種可選(也可根據(jù)客戶尺寸定制）

晶圓容積70L無塵無氧箱SECSGEM系統(tǒng)烘箱