圖1
型號(hào) | HSR-C3200 | HSR-C3200D | HSR-C3200G | ||
圖像傳感器 | 500 萬(wàn)像素 CMOS | 2000 萬(wàn)像素 CMOS | |||
顯示器 | 機(jī)身顯示器 | 10.4 英寸LCD 顯示器（XGA：1024×768） | |||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | ||||
受光鏡頭 | 雙遠(yuǎn)心鏡頭 | ||||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | |||
透射系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心透過(guò)照明（綠色） | ||||
測(cè)量視野 | 廣視野(㎜) | 200×200（4 角 R50） | 200×200（4 角 R50） | 200×200（4 角 R50） | |
高精度(㎜) | / | 130×130 | 130×130 | ||
圖像測(cè)量 重復(fù)精度 | 廣視野 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | ±1μm | ±1μm | ±1μm |
載物臺(tái)移動(dòng) | ±2μm | ±2μm | ±2μm | ||
高精度 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | / | ±0.5μm | ±0.5μm | |
載物臺(tái)移動(dòng) | / | ±1.5μm | ±1.5μm | ||
圖像測(cè)量 測(cè)量精度 | 無(wú)拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm | ±2μm | ||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | ±(4+0.02L)μm | ||
測(cè)量軟件 | VisionX | ||||
顯示分辨率 | 0.1μm | ||||
XY 電動(dòng)載物臺(tái) | X 移動(dòng)范圍 | 110 mm | |||
Y 移動(dòng)范圍 | 110 mm | ||||
承重 | 5kg | ||||
Z 向電動(dòng)載物臺(tái) | 移動(dòng)范圍 | 75 mm | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 531×386×731 （mm） | 531×386×731 （mm） | 531×386×731 （mm） | ||
重量 | 48kg | 49kg | 49kg | ||
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | ||||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無(wú)凝結(jié)） | ||||
*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時(shí)。
*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時(shí)、載物臺(tái)上搭載重量為 2kg 以下、L 為載物臺(tái)移動(dòng)量（mm)。
圖2
型 號(hào) | HSR-C3030 | HSR-C3030D | ||
圖像傳感器 | 500 萬(wàn)像素 CMOS | |||
顯示器 | 機(jī)身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） | ||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | |||
受光鏡頭 | 雙遠(yuǎn)心鏡頭 | |||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | ||
透射系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心透過(guò)照明（綠色） | |||
測(cè)量視野 | 廣視野(㎜) | 20×L130 | 20×L130 | |
高精度(㎜) | / | 6×L116 | ||
圖像測(cè)量 重復(fù)精度 | 廣視野 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | ±0.5μm | ±0.5μm |
載物臺(tái)移動(dòng) | ±1μm | ±1μm | ||
高精度 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | / | ±0.1μm | |
載物臺(tái)移動(dòng) | / | ±0.5μm | ||
圖像測(cè)量 測(cè)量精度 | 無(wú)拼接*1 | 廣視野 | ±2μm | ±2μm |
高精度 | / | ±0.7μm | ||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(4+0.02L)μm | ±(4+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(2+0.02L)μm | ||
測(cè)量軟件 | VisionX | |||
顯示分辨率 | 0.1μm | |||
XY 電動(dòng)載物臺(tái) | X 移動(dòng)范圍 | 110 ㎜ | ||
Y 移動(dòng)范圍 | ------ | |||
承重 | 2kg | |||
Z向電動(dòng)載物臺(tái) | 移動(dòng)范圍 | 35 ㎜ | ||
標(biāo)尺精度 | ------ | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×280×670 ㎜ | |||
重量 | 30kg | |||
工作電源 | 100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 300W | |||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無(wú)凝結(jié)） | |||
*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時(shí)。
*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時(shí)、載物臺(tái)上搭載重量為 1kg 以下、L 為載物臺(tái)移動(dòng)量（㎜）。
圖3
型 號(hào) | HSR-C3100 | HSR-C3100D | ||
圖像傳感器 | 500 萬(wàn)像素 CMOS | |||
顯示器 | 機(jī)身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） | ||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | |||
受光鏡頭 | 雙遠(yuǎn)心鏡頭 | |||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | ||
透射系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心透過(guò)照明（綠色） | |||
測(cè)量視野 | 廣視野(㎜) | Φ100×L200 | Φ100×L200 | |
高精度(㎜) | / | 20*L130 | ||
圖像測(cè)量 重復(fù)精度 | 廣視野 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | ±1μm | ±1μm |
載物臺(tái)移動(dòng) | ±2μm | ±2μm | ||
高精度 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | / | ±0.5μm | |
載物臺(tái)移動(dòng) | / | ±1.5μm | ||
圖像測(cè)量 測(cè)量精度 | 無(wú)拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm | ||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | ||
測(cè)量軟件 | VisionX | |||
顯示分辨率 | 0.1μm | |||
XY電動(dòng)載物臺(tái) | X 移動(dòng)范圍 | 110 ㎜ | ||
Y 移動(dòng)范圍 | —— | |||
承重 | 2kg | |||
Z向電動(dòng)載物臺(tái) | 移動(dòng)范圍 | 35 ㎜ | ||
標(biāo)尺精度 | —— | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×280×670 ㎜ | |||
重量 | 31kg | |||
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | |||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無(wú)凝結(jié)） | |||
*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時(shí)。
*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時(shí)、載物臺(tái)上搭載重量為 1kg 以下、L 為載物臺(tái)移動(dòng)量（㎜）。
圖4
型 號(hào) | HSR-C3300 | HSR-C3300D | |||||
圖像傳感器 | 500 萬(wàn)像素 CMOS | ||||||
顯示器 | 機(jī)身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） | |||||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | ||||||
受光鏡頭 | 雙遠(yuǎn)心鏡頭 | ||||||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | |||||
透射系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心透過(guò)照明（綠色） | ||||||
測(cè)量視野 | 廣視野(㎜) | 300×200（4 角 R50） | 300×200（4 角 R50） | ||||
高精度(㎜) | / | 230*130 | |||||
圖像測(cè)量 重復(fù)精度 | 廣視野 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | ±1μm | ±1μm | |||
載物臺(tái)移動(dòng) | ±2μm | ±2μm | |||||
高精度 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | / | ±0.5μm | ||||
載物臺(tái)移動(dòng) | / | ±1.5μm | |||||
圖像測(cè)量 測(cè)量精度 | 無(wú)拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm | |||
高精度 | / | ±2μm | |||||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | ||||
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | |||||
測(cè)量軟件 | VisionX | ||||||
顯示分辨率 | 0.1μm | ||||||
高度測(cè)量*3 | 可測(cè)量范圍（XY) | 120 ㎜×110 ㎜ | |||||
孔深比（h/φ） | 1.5 | ||||||
Z軸不移動(dòng) | 高度 | ±3.7 ㎜ | |||||
精度 | ±2μm | ||||||
Z軸移動(dòng) | 高度 | 70 ㎜ | |||||
精度 | ±(6+L/100)μm | ||||||
測(cè)頭光點(diǎn)直徑 | Φ38μm | ||||||
分辨率 | 0.25μm | ||||||
支持觸發(fā)測(cè)頭 | 支持 | ||||||
XY 電動(dòng)載物臺(tái) | X 移動(dòng)范圍 | 210 ㎜ | |||||
Y 移動(dòng)范圍 | 110 ㎜ | ||||||
承重 | 5kg | ||||||
Z 向電動(dòng)載物臺(tái) | 移動(dòng)范圍 | 75 ㎜ | |||||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×503×731 ㎜ | 500×503×731 ㎜ | |||||
重量 | 74kg | 75kg | |||||
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | ||||||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無(wú)凝結(jié)） | ||||||
*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時(shí)。
*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時(shí)、載物臺(tái)上搭載重量為 2kg 以下、L 為載物臺(tái)移動(dòng)量（㎜）。
*3需選配光學(xué)高度測(cè)量傳感測(cè)頭。
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