多晶硅用制氮機(jī)工作原理
RDN系列制氮機(jī)是根據(jù)變壓吸附原理，采用高品質(zhì)的碳分子篩作為吸附劑，在一定的壓力下，從空氣中制取氮?dú)狻? 經(jīng)過(guò)純化干燥的壓縮空氣，在吸附器中進(jìn)行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動(dòng)力學(xué)效應(yīng)，氧在碳分子篩微孔中擴(kuò)散速率遠(yuǎn)大于氮，氧被碳分子篩優(yōu)先吸附，氮在氣相中被富集起來(lái)，形成成品氮?dú)狻?/p>
1、壓縮空氣凈化組件
空氣壓縮機(jī)提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化組件中，壓縮空氣先由精密過(guò)濾器除去大部分的油、水、塵，再經(jīng)冷凍干燥機(jī)進(jìn)一步除水、精過(guò)濾器除油、除塵，并由在緊隨其后的活性炭過(guò)濾器進(jìn)行深度凈化。根據(jù)系統(tǒng)工況，瑞德氣體特別設(shè)計(jì)了一套壓縮空氣除油器，用來(lái)防止可能出現(xiàn)的微量油滲透，為碳分子篩提供充分保護(hù)。
2、空氣儲(chǔ)罐
空氣儲(chǔ)罐的作用是：降低氣流脈動(dòng)，起緩沖作用;從而減小系統(tǒng)壓力波動(dòng)，使壓縮空氣平穩(wěn)地通過(guò)壓縮空氣凈化組件，以便充分除去油水雜質(zhì)，減輕后續(xù)PSA氧氮分離裝置的負(fù)荷。同時(shí)，在吸附塔進(jìn)行工作切換時(shí)，它也為PSA氧氮分離裝置提供短時(shí)間內(nèi)迅速升壓所需的大量壓縮空氣，使吸附塔內(nèi)壓力很快上升到工作壓力，保證了設(shè)備可靠穩(wěn)定的運(yùn)行。
3、氧氮分離裝置
裝有碳分子篩的吸附塔共有A、B兩只。當(dāng)潔凈的壓縮空氣進(jìn)入A塔入口端經(jīng)碳分子篩向出口端流動(dòng)時(shí)，O2、CO2和H2O被其吸附，產(chǎn)品氮?dú)庥晌剿隹诙肆鞒?。?jīng)一段時(shí)間后，A塔內(nèi)的碳分子篩吸附飽和。這時(shí)，A塔自動(dòng)停止吸附，壓縮空氣流入B塔進(jìn)行吸氧產(chǎn)氮，對(duì)并A塔分子篩進(jìn)行再生。
4、氮?dú)饩彌_罐
氮?dú)饩彌_罐用于均衡從氮氧分離系統(tǒng)分離出來(lái)的氮?dú)獾膲毫图兌?，保證連續(xù)供給氮?dú)夥€(wěn)定。同時(shí)，在吸附塔進(jìn)行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護(hù)床層的作用，在設(shè)備工作過(guò)程中起到極重要的工藝輔助作用。多晶硅用制氮機(jī)
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