型號： ScMgAlO4 產(chǎn)品概述： ScMgAlO4晶體是最近發(fā)展起來的一種GaN和ZnO異質(zhì)外延用理想的襯底材料，是目前與GaN和ZnO晶格失配最小的新型襯底材料。ScMgAlO4晶體屬于六方晶系，晶格常數(shù)a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面體層狀結(jié)構(gòu)，與纖鋅礦氮化物和氧化鋅的結(jié)構(gòu)相似。ScMgAlO4是一種與GaN和ZnO晶格常數(shù)和結(jié)構(gòu)非常匹配的襯底材料(表1)。它與GaN的晶格失配率約為1.8%，與ZnO的晶格失配率僅為0.09%，a軸的熱膨脹系數(shù)為6.2x10-6/℃，c軸的熱膨脹系數(shù)為12.2x10-6/℃，與GaN、ZnO外延薄膜之間的熱膨脹系數(shù)失配比傳統(tǒng)的藍(lán)寶石和硅等襯底好的多。