三靶等離子濺射鍍膜儀  VTC-16-3HD

· 輸入電源： AC 220V 50/60HZ

· 濺射電流：0-40mA可調(diào)

· 功率：＜1KW

· 輸出電壓：1680V DC

· 材質(zhì)：采用石英材質(zhì)作為腔體

· 尺寸：OD166mm*ID150mm*150mm

· 密封：采用O型圈密封

· 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口，用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內(nèi)部充入空氣。

·一個不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體。

· 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的微量精密調(diào)節(jié)閥控制進入石英腔體內(nèi)部工作氣體的流量，從而達到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)部的真空度

· 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的電位器，實現(xiàn)對濺射電流大小的控制。

· 標配三塊銅靶材

· 靶材尺寸要求：φ47*（0.1-3）mm厚度

· 可在我公司選購其他金屬靶材，詳細請咨詢銷售部門

· 安裝有一可手動操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射。

·  一個φ50mm的可旋轉(zhuǎn)的樣品臺，樣品臺支撐柱上有固定螺絲，擰松螺絲即可調(diào)整樣品臺的高度；

· 樣品臺旋轉(zhuǎn)角度:0/120/240度；

· 靶材和樣品臺之間的距離為20-70mm可調(diào)；
· 樣品臺可以選配加熱功能，加熱溫度500度；

· 4″PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、樣品濺射時間

· 數(shù)據(jù)記錄功能可以記錄每次濺射的真空度、電流和濺射時間等工藝參數(shù)，方便客戶進行查詢

· 型號：VRD-8

· 抽氣速率：2.2 L/S

· 電機功率：370 W

· 極限壓強：5×10^-1Pa（不帶負載）

· 實際壓強：≤5 Pa（冷態(tài)下機械泵抽20分鐘）

· 如果想要獲得更高的真空度（10^-5toor or better）可選購國產(chǎn)或進口高真空機組

· 一年質(zhì)保期，終生維護

· CE認證

 460*400*500mm（長*寬*高）

約20KG

· 為了達到理想的薄膜厚度，需要多次濺射鍍膜

· 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、樣品和樣品臺的潔凈

· 要達到薄膜與基底良好結(jié)合，請在濺射前清潔基材表面，可選購本公司的清洗設(shè)備進行清潔

· 此款設(shè)備可放入手套箱中濺射（Ar或N2氣氛環(huán)境）