等離子磁控鍍膜儀  VTC-1RF

· 電源：AC 220V 50/60HZ

· 功率：＜1800W

· 輸入電源：220V 3A

· 輸出功率：0-300W

· 輸出頻率：13.56 MHZ

· 冷卻方式：設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷

· 尺寸：444（長）*410（寬）*128（高）  

· 1英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接

· 靶材尺寸要求：φ25.4*（0.1-3）mm厚

· 1英寸磁控濺射頭可承受射頻功率：100W

·1英寸磁控濺射頭可承受直流功率：250W

·腔室尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*高250mm，采用高純石英制作

· 密封法蘭:直徑為174mm 采用金屬鋁制作，采用氟膠密封圈密封

· 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射，法蘭蓋上包含一個φ6.35的卡套接頭用于連接進氣管。

· 一個不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體

· 腔室真空度：<1.0×10-2 torr=""><5×10-5 torr="">

· 如果需要更高真空度，可以定做不銹鋼真空腔室（真空度可以達到5*10-6torr以下）

· 腔體進氣口為Φ6.35mm的不銹鋼雙卡套接頭，通過聚四氟管可與氣瓶連接，并通過一個精密微量調(diào)節(jié)閥控制進氣量的大小

· 樣品臺可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱

· 樣品臺尺寸：直徑50mm （可放置2英寸的基片）

· 旋轉(zhuǎn)速度：1- 10 rpm（可調(diào)速）

· 樣品臺的加熱溫度為700℃(短期使用，恒溫不超過1小時)，長期使用溫度500℃

· 控溫精度：±10℃

· 真空計型號：ZDZ-52T

· 測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

· 有效范圍：3.0×10³Pa~1.0×10⁰Pa

· 配接硅管：ZJ-52T/KF16

· 面板尺寸：96*96 mm

· 真空計配套的規(guī)管只能測量空氣和氮氣，有其他氣體成分比例較大的場合需另外修正

· 抽真空接口為KF25接口

· 真空泵型號：VRD-16

· 抽氣速率：4.4 L/S

· 電機功率：750 W

· 極限壓強：5×10^-1Pa（不帶負(fù)載）

· 型號：KJ-5000

· 工作電流：1.4-2.1A

· 制冷量：2361Btu/h

· 尺寸：55×28×43cm（長×寬×高）

· 水箱容量：6L

· 水流速率：16L/min

· 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  

· LED顯示屏顯示，同時也可輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

設(shè)備尺寸：長550mm×寬550m×高1100mm

爐架尺寸：長600mm×寬600m×高600mm

約55KG

1年（不包密封圈等損耗件）