恒壓控制系統(tǒng)GZK-PID-VRD24 (科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部2022.6.15審核）

· PLC、觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項(xiàng)工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷。

· 通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配，從而達(dá)到精確的恒壓控制

· 600*600的承重臺面，可配合科晶其他設(shè)備使用，節(jié)省空間

· 型號:VRD-24

· 電源：220V 50/60HZ

· 進(jìn)氣口：KF25

· 抽速：50HZ:6.6L/S

      60HZ:7.9L/S

· 功率：50HZ:1.1KW

      60HZ:0.75KW

· 極限真空：4*10-1Pa（不帶負(fù)載）

· 輸入：AC220V

· 輸出：3*AC380V

· 型號：PGC-554  

· 電源：DC24V

· 測量范圍：3.8E-5-1125torr

界面上帶真空顯示值和設(shè)定值，一鍵式操作，方便快捷

壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進(jìn)氣量為500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為50sccm）

壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

                  ＞2.5torr-----10torr（±%40）

                  ＞10 torr------200torr（±%5）

600*600*700mm

98KG

1年（不包含爐管，硅膠O型圈和加熱元件等損耗件）