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合肥科晶材料技術(shù)有限公司

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4英寸氣體分散噴頭(用于DIY ALD/CVD系統(tǒng))

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:噴嘴|噴頭
  • 所在地:合肥市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時(shí)間:2025-02-26 12:10:13
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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:2205條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊(cè)時(shí)間:2023-09-14
  • 最近登錄:2023-09-14
  • 聯(lián)系人:劉蕓
  • 電    話:18256065710
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào): SH-4 產(chǎn)品概述: SH-4是一款氣體分散噴頭,了將前驅(qū)氣體非常均勻地傳輸?shù)紸LD或CVD腔體。此款產(chǎn)品非常適用到大尺寸基片上(4英寸),采用CVD法成膜。

詳情介紹
產(chǎn)品名稱

4英寸氣體分散噴頭-SH-4 (2020.12.05——科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1.多種配件可選提示  2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>  3.配件妥善保管提示

技術(shù)參數(shù)

·材料:頂部法蘭為304不銹鋼,底部噴頭為鋁合金

·密封圈:硅膠密封圈

·氣管接口:外徑14mm,內(nèi)徑6.35mm

·噴頭孔徑:Φ0.5mm

·噴頭流道:特殊的流道設(shè)計(jì),確保氣體/蒸汽均勻的分散和傳輸

2.jpg  3.jpg




外形參數(shù)

4.jpg  5.jpg


認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。


圖片7.png


質(zhì)保

·一年保修,終身技術(shù)支持。
·特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

            2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

·點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。


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