拋光機操作的關鍵是要設法得到的拋光速率,以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響最終觀察到的組織,即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層,但拋光損傷層也較深;后者要求使用最細的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低。解決這個矛盾的辦法就是把拋光分為兩個階段進行。粗拋目的是去除磨光損傷層,這一階段應具有的拋光速率,粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過也應當盡可能??;其次是精拋(或稱終拋),其目的是去除粗拋產生的表層損傷,使拋光損傷減到最小。
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