序號(hào)

項(xiàng)目

參數(shù)

1

測(cè)量行程

500mm×600mm×400mm

2

示值誤差

MPEE≤3.5＋L/200mm

3

探測(cè)誤差

MPEP≤3.9mm

4

分辨率

0.5um

5

主機(jī)重量

550kg

載荷

300KG

6

主機(jī)外形尺寸

1220mm×1150mm×2400mm

7

環(huán)境要求

溫度范圍：20±2℃，

溫度變化：< 0.5℃/h     < 1°C /24h

氣源壓力： 0.6MPa～0.8MPa，

耗氣量：200L/min(0.45MPa)

濕度范圍：30%-70%

電源： 220V±5 % ，50Hz

功率：1 KW

地面振動(dòng)：     振動(dòng)頻率≤10 Hz       振幅≤0.5μm

10 Hz<振動(dòng)頻率≤30 Hz       振幅≤1μm

振動(dòng)頻率≥30 Hz       振幅≤3μm

序號(hào)

名稱(chēng)

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

1

主機(jī)

主要材質(zhì)及零部件：00級(jí)泰山青優(yōu)質(zhì)花崗巖平臺(tái)，高精密泰山青花崗巖三軸導(dǎo)軌，精密鑄造加工鋁合金立柱，英國(guó)RENISHAW高精度光柵、讀數(shù)頭測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)，SMC精密空氣過(guò)濾器及自動(dòng)檢測(cè)控制裝置，進(jìn)口直流伺服電機(jī)，德國(guó)FESTO氣管接頭，優(yōu)質(zhì)空氣軸承，德國(guó)進(jìn)口配件的非線性彈簧系統(tǒng)，德國(guó)IGUS低摩擦無(wú)噪音拖鏈及高柔性拖鏈電纜，美國(guó)蓋茨（GATES）高性能同步帶，美國(guó)進(jìn)口精密滾珠軸承,高級(jí)汽車(chē)級(jí)進(jìn)口工業(yè)面漆等。

1.1 龍門(mén)移動(dòng)式結(jié)構(gòu)，整體式工作臺(tái)，具有承載能力強(qiáng)、工件放置空間寬闊、裝卸便捷的特點(diǎn)。三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖材料，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗時(shí)效變形能力，剛性好、幾何變形??；與專(zhuān)業(yè)花崗巖生廠商聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新式花崗巖導(dǎo)軌加工檢驗(yàn)工藝，將花崗巖導(dǎo)軌的加工精度提高到一個(gè)新的等級(jí)。

1.2 采用高精度空氣軸承，環(huán)抱式軸承布局設(shè)計(jì)（如圖1），提高了機(jī)器的剛性和穩(wěn)定性，即使*工作，也能保持很高的精度，同時(shí)確保了機(jī)器優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性。

1.3 *非線性彈簧系統(tǒng)的應(yīng)用，降低了導(dǎo)軌微小誤差對(duì)測(cè)量精度的影響，同時(shí)保證設(shè)備具有更高的環(huán)境溫度適應(yīng)性。

1.4 *的Z軸防扭轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)是決定測(cè)量機(jī)精度的重要環(huán)節(jié)，可靠的防轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)即使在使用測(cè)頭加長(zhǎng)桿時(shí)也能獲得很高的精度。

1.5 Z軸采用重力平衡裝置，可靠性高，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)、順暢。

1.6 手動(dòng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)564三軸快速移動(dòng)、鎖緊、微調(diào)采用一鍵式轉(zhuǎn)換（如圖3）。只用輕輕一扳空氣鎖緊裝置對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)，便可將各軸由快速移動(dòng)狀態(tài)轉(zhuǎn)換至鎖緊狀態(tài)，鎖緊后可通過(guò)X、Y、Z軸微調(diào)旋鈕方便的移動(dòng)各軸。在對(duì)工件的狹小部位進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，此功能體現(xiàn)的尤為充分；

1.7 長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW高精度反射式金屬帶狀光柵尺和讀數(shù)頭，具有*的精度和精度穩(wěn)定性。

1.8  SMC高精度空氣過(guò)濾器可以使壓縮空氣達(dá)到*的潔凈度以有效地保護(hù)空氣軸承和導(dǎo)軌，同時(shí)自動(dòng)排水裝置使得操作者使用時(shí)更加省心省力，避免了因忘記排水導(dǎo)致的設(shè)備損壞。全數(shù)字氣源檢測(cè)裝置，加強(qiáng)對(duì)氣源波動(dòng)檢測(cè)的靈敏度，將氣源對(duì)測(cè)量精度的影響降至。

1.9 完善的安全保護(hù)裝置，能在一些意外發(fā)生時(shí)及時(shí)鎖死三軸，避免更大的意外發(fā)生，保護(hù)機(jī)器的安全。

1.10 整機(jī)設(shè)計(jì)符合人機(jī)工程學(xué)原理，使用簡(jiǎn)單方便，易于保養(yǎng)及維護(hù)。