產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

• 適合做多層薄膜的深度分析。
• 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。
• 方便使用。
• 樣品可以手動轉(zhuǎn)換，由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。
• 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍，使我們可以輕松處理絕緣的樣品。
• 我們還可以做元素成像（就象化學(xué)地圖）和混合模式掃描，自動測量正、負(fù)和中性粒子。
• 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺，很容易滿足很多其它分析的使用。
• 結(jié)構(gòu)緊湊，但不損失性能。真正的高性價比。

特點(diǎn)FEATURES

• 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
• SIMS 成像，分辨率在微米以下
• 光柵控制，增強(qiáng)深度分析能力
• 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的最小擾動，及恒定離子傳輸
• 差式泵3級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu
• 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
• Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
• 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制

規(guī)格參數(shù)SPECIFICATION

• 質(zhì)量數(shù)范圍：300，510或1000amu
• 分辨率：5%的谷，兩個相連的等高峰。
• 檢測器：離子計(jì)數(shù)檢測器，正、負(fù)離子檢測
• 檢測限：1:10E7
• 質(zhì)量過濾器：三級過濾四極桿（9mm桿）
• 主離子槍： A，氧離子或其它氣體，能量到5KeV；B，Ga離子槍，能量25KeV（選配）
• 空間分辨率：A：100～150um；B: 50nm
• 取樣深度：2個單分子層（靜態(tài)）；不受限制（動態(tài)）