無掩膜SmartPrint

無掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備，可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀，而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù)，投影出具有微米分辨率的圖像，無掩膜光刻機(jī)SmartPrint無需任何進(jìn)一步步驟，就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體，生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。

主要特性：

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源，以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線光刻膠，如SU8或AZ®1500系列

適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經(jīng)過精心選擇，具有較長的工作距離(高達(dá)3厘米)，使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù)，因此兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(非平的，靈活的，厚的)。

可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率        直寫分辨率1.5um                                                                     

兼容任何尺寸的樣品，可至5平方英寸                                         對齊方式直觀——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用

體積小，性價比高

應(yīng)用領(lǐng)域：

                 光器件                                                      微流控                                        微電子

指標(biāo)參數(shù)：