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簡(jiǎn)介

　　MSP系列薄膜分析產(chǎn)品來(lái)自美國(guó)AST公司，其可以實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測(cè)量，同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量，為人們針對(duì)薄膜微小區(qū)域進(jìn)行分析提供了便利。

產(chǎn)品詳情

規(guī)格參數(shù)

　　波長(zhǎng)范圍：400nm到1000 nm

　　波長(zhǎng)分辨率: 1nm

　　光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

　　基片尺寸：可至20mm厚

　　測(cè)量厚度范圍: 20? 到25 μm

　　測(cè)量時(shí)間：zui快2毫秒

　　精度*：優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)

　　重復(fù)性誤差*：小于2 ?

　　1 波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)深紫外光或者近紅外光范圍

　　2 可根據(jù)客戶的特殊需求來(lái)定制

　　3 在動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)研究時(shí)，可根據(jù)需要對(duì)平臺(tái)進(jìn)行加熱或致冷

　　4 可選擇的平臺(tái)尺寸zui多可測(cè)量300mm大小尺寸的樣品

　　5 更高的波長(zhǎng)范圍的分辨率可低至0.1nm

　　6 各種濾光片可供各種特殊的需求

　　7 可添加應(yīng)用于熒光測(cè)量的附件

　　8 可添加用于拉曼應(yīng)用的附件

　　9 可添加用于偏光應(yīng)用的附件

應(yīng)用系統(tǒng)

　　主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域：

　　1 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽(yáng)能…)

　　2 半導(dǎo)體制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等

　　5 油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等

　　6 醫(yī)藥，中間設(shè)備

　　7 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　8 半導(dǎo)體化合物

　　9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

　　l0 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅