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當(dāng)前位置：深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>實驗設(shè)備>>(氣、液、固）進(jìn)料系統(tǒng)>> GSL-2Z-LCD-S 小型二通道混氣系統(tǒng)
GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用，實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 基本參數(shù) | ● 工作溫度：5~45oC ● 壓力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: ● 一路：1-99 SCCM ● 二路：1-199 SCCM （其他流量范圍可定制） ● 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 |
| 輸入電源 | AC 220V，50/60Hz |
| 功率 | 100W |
| PLC觸摸屏 | 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一觸摸屏上 |
| 混氣罐 | 內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣 |
| 機(jī)械壓力表 | ● 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 |
| 針閥 | 316 不銹鋼 |
| 通氣管道 | ● 內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 |
| 混氣罐 | 內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣 |
| 機(jī)械壓力表 | ● 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 |
| 針閥 | 316 不銹鋼 |
| 通氣管道 | ● 內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 |
| 外形尺寸 | 360 mm L x 300 D mm x 190 H mm |
| 產(chǎn)品重量 | 8.4kg |
| 相關(guān)產(chǎn)品 | CVD & PECVD?管式爐 （點擊圖片查看詳細(xì)資料） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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