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OTF-1200X-4- C4LVS 1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系返回列表頁

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更新時間：2025-01-27 06:05:42瀏覽次數(shù)：7次

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OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是一個特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計,特別是應用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現(xiàn)快速加熱和冷卻。

功能特點

雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應；
雙管的真空密封法蘭：允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應，冷卻氣體直接通入內(nèi)管；
四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體；
配有KF25快接和波紋管的高速機械泵；
爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實現(xiàn)快速升溫和降溫；

性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長爐膛的使用壽命爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作
電源	電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險絲)
加熱溫度	溫度: 1100°C 連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)	加熱區(qū)長度: 440mm 恒溫區(qū)長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系選擇: 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
加熱和冷卻速度	的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，請點擊下圖可以看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。 ( 在使用爐子之前，要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 ) 加熱冷卻
石英管	外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm ) 內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1500 mm )
真空法蘭	一對 SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空爐子底部裝有一對滑軌爐子可以手動從一端滑向另一端，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預熱，然后滑到放置樣品的位置為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置左法蘭(點擊放大) 右法蘭 (點擊方大)
溫控儀	溫控儀:帶超溫保護和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng)	4路精密質(zhì)子流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制. MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路: 4 路流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套一個混氣罐. 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量. 請看下圖 MFC 面板(點擊放大)
真空泵	安裝在移動架底部的機械泵，真空度達 10-3 Torr 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上選擇: 可以配分子泵，真空度達 10-5 Torr
作為基片用的25um厚的銅箔 (選配）	生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)	爐體: 550 x 380 x 520 移動架: 600x600x597
凈重	300 lb
開門斷電	為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計
保修期	一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）
認證	CE 認證
凈重	約85 Kg
使用注意事項	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）