1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC 返回列表頁

GSL-1700X 系列管式爐

殼體

• 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C.
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
• 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
• 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上，方便移動(dòng).
• 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組

爐管

• 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管
• 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
• 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)

功率

6KW

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

8 根1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

• zui高工作溫度.: 1650°C
• 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

 <=5°C/min

加熱區(qū)長度

• 加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
• 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)

溫控系統(tǒng)

• 采用PID方式自動(dòng)控制，并可設(shè)置30段升降溫程序
• 控溫精度: ±1°C                   
• 控溫儀表操作視頻
• 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空法蘭

• 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
• 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
• 兩個(gè)精密針閥
• 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
• 一個(gè)1/4"卡套接頭

外形尺寸

550 x 380 x 520mm

高真空機(jī)組

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

• 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• zui大承載量:       600 Lbs on top
• 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示
• 內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

• 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)） 
• 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

抽氣速率

• N2     33 L/s
•  He     39 L/s   (2340L/minute)
• H2   32 L/s

工作范圍

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (without any leaking )

質(zhì)量流量控制器

殼體

• 采用 316不銹鋼制作
• 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
• 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
• MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制
  
  

功率

18W

工作電壓

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

CE Certificateed