| 自動(dòng)橢圓偏振測厚儀 型號：XHPY-2 | 貨號：ZH10669 |
| 產(chǎn)品簡介: 儀器采用消光法自動(dòng)測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。 指標(biāo)： 測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm;折射率范圍：1-10 測量Z小示值：≤1nm 入 射 角：20°- 90°精度≤0.05° 偏振器方位角范圍：0°- 180° 度盤刻度：每格1度 偏振器步進(jìn)角：0.014°/步 儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)） 測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005 光學(xué)中心高度：80mm 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 外形尺寸：680*390*310mm 主機(jī)重量：26kg 儀器成套性： 主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）。 |  |
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