


顯影單元參數(shù):
離心機(jī)
額定轉(zhuǎn)速(德國電機(jī)): 0~5000rpm
轉(zhuǎn)速最小調(diào)整量: 1rpm
轉(zhuǎn)速精度: ±1rpm(500~300rpm)
加速度: 20000rpm/s
加速度最小調(diào)整量: 1RPM/S
承片臺(tái)(chuck)
材料: 防靜電PEEK材質(zhì)(兩個(gè))與
晶片接觸方式 : 真空吸附
吸附真空度檢測(cè): 數(shù)顯壓力傳感器
所有評(píng)論僅代表網(wǎng)友意見,與本站立場(chǎng)無關(guān)。