


1.適用圓片尺寸: 2"、3"、4";以及5x5,10x10,25x25方片工藝工步:放置圓片(可輔助定中心) 啟動 防濺罩到上位 真空吸片 防塵帽閉合 電機啟動 吹氮氣 低速滴膠 加速、高速勻膠 上刮邊 下刮邊電機停止 防塵帽開啟 防濺帽到下位 去真空、卸片(工藝結束)以上各工步流程為自動執(zhí)行,其中防塵帽、防濺帽、真空具有手動功能;
主軸徑向跳動≤0.02mm,軸向竄動≤0.04mm;
主軸轉速:200~7000轉/分,誤差±20轉/分,連續(xù)可調;
主軸加速度(空載):0~3×103rad/秒2,連續(xù)可調;
工藝工步時間:0~999.9秒,設定增量±0.1秒;
膠泵排出量:80立方厘米,滴膠量和速度可調;適用膠液粘度范圍:-4~10000 厘施;2.主要指標檢測方法;
主軸徑向跳動及軸向竄動用百分表檢查;
主軸轉速用轉速表檢測,主軸加速度用記憶示波器檢測;
兩頭滴膠量應基本一致,用目測無明顯差異;
各氣路、液路應密封可靠,無泄露現(xiàn)象;
操作、觀察各機械、電器操作件及按鍵應靈活可靠,各顯示應準確無誤;
外觀目視應平整、光滑,表面涂層不允許有脫落、破損等情況;
設備干運行16小時,濕運行16小時(轉速3500r/m)。結束后取下四氟密封套觀察其磨損情況。如有磨損應及時檢查原因并進行更換。接地可靠。3.設備使用條件;
該設備在滿足下列條件下應能正常工作。
電源條件:AC 220伏±10%,50赫,>500瓦;
氮氣條件:壓強≥0.4兆帕,純度≥99.99%;
真空條件:抽氣量≥120立方分米/分,真空度≤-0.085MPa
排風條件:排風量≥2立方米/分,壓強≥124帕;
所有評論僅代表網(wǎng)友意見,與本站立場無關。