Leica DM12000 M智能材料金相顯微鏡 ——精密的觀察和復檢系統(tǒng)
徠卡DM12000M全新的光學設計,可以提供宏觀模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式) ,不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能。
的 LED 照明技術與一體化設計整合在顯微鏡上,低熱輻射和機身內(nèi)一體化技術確保了的機身外空氣流動狀態(tài)。低能耗的節(jié)電設計大大延長了使用壽命,符合綠色環(huán)保的理念。
一鍵式的操控設計使用戶可以輕易地完成倍率轉換和相關的照明和相襯效果。
品質(zhì)特征
● 高級智能數(shù)字式正置材料顯微鏡,適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、電子元器件、粉塵顆粒等樣品的觀察分析,多種安全設計,保護品圓,鏡頭及觀察者;
● 模塊化設計,可實現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置;
● 復消色差光路,整體光路支持25mm視野直徑;
● 可選配UV光源,提高觀察分辨率至亞微米結構,UV由大功率LED產(chǎn)生,具有UV和OUV功能;
● 12×12大樣品臺,可觀察晶圓,LCD等大尺寸樣品;
● 6孔位電動物鏡轉盤,配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡;
● 內(nèi)置電動或手動調(diào)焦系統(tǒng);
● 0.7X宏觀物鏡,具有宏觀晶圓檢查功能;
● 可實現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明觀察方式;
● 機身內(nèi)置LED透、反射照明電源,智能光強變化控制照明方式;
● 能自動記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下的光強、光闌大小及聚光鏡的組合,自動恢復到位,操作簡單快速;
● 機座配觸摸按鈕,控制顯微鏡的操作;
● 光強、光闌、觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)可由按鍵和計算機控制操作,并自動在不同倍數(shù)物鏡下
● 拍的照片中加相應倍數(shù)標尺;
● 具有色溫恒定系統(tǒng),提供工作效率;
● 可配接攝像頭,數(shù)碼相機進行圖像采集、分析、測量;
● 可配接熒光觀察、高溫熱臺、陰極發(fā)光儀、光度計;
● 可配接自動掃描臺進行多視場非金屬夾雜物分析和顆粒粒度、清潔度分析。
參數(shù)/型號 | Leica DM 12000M |
光學系統(tǒng) | Leica HC 光學器件 (光學系統(tǒng)校正至無限遠) |
觀察鏡筒 | 三目人工學鏡筒,直立和同向圖像 |
切換位置 (目鏡/攝像頭): 100/0 和 0/100,100/0 和 50/50 | |
宏觀成像 | 超廣視野概覽圖像,樣品上掃描區(qū)域 40 mm |
照明系統(tǒng) | 全 LED 入射光照明;觀察技術:亮場、暗場、微分干涉相襯、定性偏振、斜射照明、紫外線、斜射紫外線 |
全 LED 透射光照明;觀察技術:亮場、定性偏振 | |
狀態(tài)反饋 | 正面的狀態(tài)指示器 |
工作間隔指示器 (儀器背面) | |
操作支持 | 內(nèi)置相襯管理器及科勒照明管理系統(tǒng) |
物鏡轉換盤 | 手動檢驗載物臺 12 x 12";302 x 302 mm 移動范圍,內(nèi)置快速調(diào)節(jié) |
掃描載物臺 12 x 12";302 x 302 mm 移動范圍,電動,4 mm 高度 | |
控制單元 | 操縱桿,帶 4 個可自由編程的功能鍵 |
Leica SmartMove,x、y、z 控制,帶 4 個可自由編程的功能鍵 | |
Leica STP6000 SmartTouch,x、y、z 控制,帶 4 個可自由編程的功能鍵 | |
聚焦 | 耐用型手動 2 級聚焦,粗調(diào)和微調(diào)模式;35 mm 移動范圍;高度可調(diào)式聚焦手柄 |
精準 3 級聚焦,粗調(diào)、微調(diào)和超微調(diào)模式;35 mm 調(diào)節(jié)范圍;高度可調(diào)式聚焦手柄 | |
電動 2 級聚焦;35 mm 移動范圍;強重復能力;齊焦補償 | |
電氣系統(tǒng) | 供電電壓:100120/220–240 V AC (%),50/60 Hz |
重量 | 約 52 kg (其中顯微鏡約 36.5 kg) |
應用 | 圓晶、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒 |
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