HTR-01 桌式4英寸快速退火爐
HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1-10片樣品同時(shí)進(jìn)行，可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN);離子注入/接觸退火;
金屬合金;
熱氧化處理;
化合物合金(砷化家、氮化物等);多晶硅退火;
太陽能電池片退火;高溫退火;
高溫?cái)U(kuò)散。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s，特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率，特定條件下可達(dá)30 ℃/s。
● 精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
● 適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)?、氬氣等）。同時(shí)，通過選配真空泵，可以在真空條件下進(jìn)行退火，真空度可達(dá)10-5Pa。
● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過程中的樣品變化。同時(shí)，可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。
● 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng)，保障儀器使用安全。
● 售后服務(wù)：，能快速反應(yīng)客戶售后需求。
樣品尺寸 | 4英寸（直徑20mm） |
控溫范圍 | RT~1200℃ |
升溫速率(max) | 50℃/s |
高溫段降溫速率（max） | 600℃/min |
溫度均勻性 | ≦1% |
控溫精度 | ±0.1℃ |
氣體流量 | 標(biāo)配1路，可擴(kuò)展至多路 |
放樣管徑 | Ф210mm*320mm |
放樣數(shù)量 | 4-10個(gè) |
真空度 | 真空度可以達(dá)到10-5 |
控制方式 | 支持真空、氧化、還原、惰性氣體等工藝氣氛，也可設(shè)置通過軟件控制真空及通氣時(shí)間 |
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