TPY-1型橢圓偏振測(cè)厚儀
橢圓偏振法測(cè)量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。因?yàn)樗哂徐`敏度高
、精度高、非破壞性測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測(cè)量等特點(diǎn)；
光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高；
儀器配有生成表、查表以及精確計(jì)算等軟件，方便用戶使用。
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：
測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1.05-2.50
測(cè)量最小值：≤1nm
入射光波長(zhǎng)：632.8nm
光學(xué)中心高：80mm
允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm
偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸：680*390*320mm
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：±0.5nm和±0.005
主機(jī)重量：25kg
入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：30°- 90°精度為0.05°
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