6英寸小型等離子清洗機-PCE-6 （2019.11.1-科晶實驗室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備    3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>    4、配件妥善保管提示

擁有6英寸清洗腔室，可清洗約5英寸直徑的基片。

·通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、清洗時間如圖一。

真空泵的開閉如圖二。

·時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

·設有一個三通閥，可大體控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。

·選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

輸入功率：AC 220V，50/60 Hz，  

真空泵：<>

總功率：<>

射頻功率：射頻功率（施加在線圈上的高壓和高頻電流）可以在三個級別上調(diào)節(jié)：低設置7.2W；中設置10.2W; 高設定29.6W

射頻頻率：3MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié)

真空泵：120L/min，直連式雙旋真空泵

極限真空度：50mtorr

更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

·高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗

·帶觀察窗的鉸鏈式門，便于樣品加載和觀察

控制面板：控制功能：清潔時間，射頻功率，真空泵。

·通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）

·等離子清洗機不得使用易燃及腐蝕性氣體

·400mm×300mm×300mm

10.2kg

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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