操作視頻

·工作環(huán)境：溫度 < 42°c，濕度="" ≤="">

·輸入電源：208 V- 240VAC, 50Hz, <>

·等離子體工作壓力

· 輸出頻率：20-23kHz , 25KV

·等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm

·40 PSI min.(0.055 Mpa)

·Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

·配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái)，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用SBC控制盒控制

·可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離

·控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。

·掃描范圍：8" x 9"

·一個(gè)直徑為4"的真空吸盤(pán)安裝在X-Y樣品臺(tái)上，可吸住直徑為6"的樣品。

·配有一真空泵，可與真空吸盤(pán)相連接

·整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上（600x600x 800Lmm）

·可選：可選加熱樣品臺(tái)（溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。

·處理樣品臺(tái)尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H

·等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H

·控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H

·55kg

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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·請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息：常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長(zhǎng)薄膜。