透射電子顯微鏡 H-9500

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透射電子顯微鏡 H-9500

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡

在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體，材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，的工具。
為了滿足這種需求，日立公司研發(fā)出了 H-9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)秀性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的功能，并采用了的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。

特點(diǎn)
規(guī)格

特點(diǎn)

用戶友好型的操作系統(tǒng)

和Windows^®兼容的圖形用戶界面設(shè)計(jì)
快速的樣品分析，1分鐘換樣，5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)
高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡

高穩(wěn)定性，高分辨率透射電子顯微鏡

點(diǎn)分辨率為0.18 nm，晶格分辨率為0.1 nm
穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測(cè)角臺(tái)
性能優(yōu)異，可靠性高

性能優(yōu)異，可靠性高

得到市場(chǎng)驗(yàn)證的10級(jí)加速器電子槍設(shè)計(jì)
阻抗式高壓電纜設(shè)計(jì)
高檔可選附件

高檔可選附件

通用樣品桿，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用
可為原子分辨率的動(dòng)態(tài)研究提供加熱，冷卻和氣體注入等多種樣品桿

備注：FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規(guī)格

項(xiàng)目		說明
分辨率		0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(點(diǎn)分辨率)
加速電壓		300kV、200kV^1、100kV^1
放大倍率	連續(xù)放大模式	1,000～1,500,000×
	選區(qū)模式	4,000～500,000×
	低倍模式	200～500×
電子槍	燈絲	LaB₆(六硼化鑭燈絲，直流加熱)
	燈絲交換	自動(dòng)升降式電子槍
	高壓電纜	阻抗電纜
照射系統(tǒng)	透鏡	四級(jí)透鏡
	聚光鏡光闌	4孔可變
	探針尺寸	微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4級(jí)) 納米束模式：1 - 10 nm(4級(jí))
	電子束傾斜	±3°
成像系統(tǒng)	透鏡	五級(jí)透鏡
	聚焦	圖像搖擺調(diào)整利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償聚焦優(yōu)化
	物鏡光闌	4孔可變光闌
	選區(qū)光闌	4孔可變光闌
電子衍射		選區(qū)電子衍射納米探針電子衍射會(huì)聚束電子衍射
電子衍射	相機(jī)長(zhǎng)度	250 - 3,000 mm
樣品室	樣品臺(tái)	5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái)
	樣品尺寸	3mmΦ
	樣品位置追蹤	X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通過CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	樣品位置顯示	自動(dòng)驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)跟蹤
	樣品傾斜	α = ±15°, β = ±15° (日立雙傾樣品臺(tái)^*2)
	防污染	冷阱
	烘烤功能	中溫烘烤功能
觀察室	熒光屏	主屏：110 mmΦ 聚焦屏：30 mmΦ
觀察室	目鏡	7.5×
照相室	區(qū)域選擇	整張照相/半張曝光
照相室	膠片	25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面		操作系統(tǒng)：Windows XP^®
	顯示器	19英寸顯示器
	功能	數(shù)據(jù)庫(kù)，測(cè)量，圖像處理
數(shù)碼CCD 相機(jī)^*3	相機(jī)耦合	透鏡耦合
	有效像素	1,024 × 1,024 像素
	A/D 分辨率	12位
真空系統(tǒng)	電子槍	離子泵：60 L/s
	鏡筒	渦輪分子泵：260 L/s
	觀察室/照相室	擴(kuò)散泵：280 L/s 前級(jí)泵：135 L/min × 3臺(tái)

*1: ：放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
*2: ：可選件
*3: ：本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)

以上規(guī)格是在加速電壓為300 kV時(shí)的承諾