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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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SID4-UV-HR 高分辨率 紫外 波前傳感器/ 波前分析儀

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號:
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:噪聲系數(shù)測試/分析儀
  • 所在地:上海
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2024-12-06 09:23:40
  • 瀏覽次數(shù):1
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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:1291條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2014-06-08
  • 最近登錄:2023-11-17
  • 聯(lián)系人:
產(chǎn)品簡介

SID4-UV-HR紫外/【SID4-UV-HR簡介】隨著光波探測技術(shù)的發(fā)展,各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生

詳情介紹

SID4-UV-HR 紫外/


【SID4-UV-HR簡介】


隨著光波探測技術(shù)的發(fā)展,各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生。從測量原理上可以分成兩類:一類是根據(jù)幾何光學(xué)原理,測定波前幾何像差或面型誤差,主要有Shack-Hartmann 波前傳感器,曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等;另一類是基于干涉測量原理,探測波前不同部分的干涉性,來獲取波前信息,主要有剪切波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡單,抗干擾能力強(qiáng),條紋穩(wěn)定。它是測量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV-HR非常適合于紫外光學(xué)測量,包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。



【關(guān)于】


Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)與的波前測量技術(shù)為客戶提供全面的高性能波前傳感器。


 一、 SID4-UV-HR 波前傳感器主要特點(diǎn)


  • 低至190nm波長感光靈敏

  • 1  nm RMS高相位靈敏度

  • 355 x 280超高相位取樣分辨率



二、SID4-UV-HR 波前傳感器產(chǎn)品功能


  • 波前像差測量


基于四波剪切技術(shù),Phasics 的波前傳感器同時提供具有的高分辨率的相位和強(qiáng)度測量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合,可提供完整的激光診斷:波前像差、強(qiáng)度分布、激光參數(shù)(M2、束腰尺寸和位置等)。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn),無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器,SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測量,包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征,以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。

         


三、SID4-UV-HR 波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域


紫外光學(xué)測量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測|


四、SID4-UV-HR 波前傳感器主要規(guī)格

波長范圍190 - 400 nm
靶面尺寸13.8 x 10.88 mm2
空間分辨率38.88 µm
取樣分辨率355 x 280
相位分辨率1 nm RMS
精度10 nm RMS
取樣速度30 fps
實(shí)時處理速度> 3 fps (全分辨率下)*
接口種類CameraLink



五、更多參數(shù)選型




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