德國PI P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)

P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)

§ 結(jié)構(gòu)緊湊：表面60毫米×60毫米

§ 100微米×100微米閉環(huán)行程（130微米×1 30微米，開環(huán)）

§ 用于成本關(guān)鍵型應(yīng)用

§ 通孔尺寸20毫米×20毫米

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 也可提供緊湊型版本

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 高吞吐量顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 掩模/晶圓定位

§ 干涉測量

§ 測量技術(shù)

§ 生物技術(shù)

§ 顯微操縱

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

訂購信息

P-612.20L XY

向納米定位系統(tǒng)，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環(huán)

P-612.2SL XY

向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應(yīng)變片傳感器

德國PI P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)