德國PI P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動態(tài)納米定位系統(tǒng)

P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實現(xiàn)zui高精度

§ 并聯(lián)測量技術(shù)可實現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動化 補(bǔ)償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、*穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動 導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實現(xiàn)極低的排氣率。

規(guī)格

                      P-363.3CD         P-363.2CD        單位

主動軸                  X、Y、Z            X, Y

運動和定位

集成傳感器               電容式          電容式

-250至+250伏時X、Y向上的開環(huán)行程  ±3    ±3             微米

 -250至+250伏時Z向上的開環(huán)行程    ±2.7    -             微米

X、Y向上的閉環(huán)行程                  ±2.5   ±2.5          微米

Z向上的閉環(huán)行程      ±2.5    -      微米

分辨率，開環(huán)*         0.03    0.03   納米

分辨率，閉環(huán)          0.1     0.1    納米

線性誤差          0.05         0.05    %

重復(fù)精度**        1          1      納米

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角 0.5   0.5    微弧度

Z向運動時的傾斜       0.2   -      微弧度

X、Y向上的直線度      3     3     納米

X、Y向上的串?dāng)_（Z向運動） 5    -    納米

機(jī)械特性

 X、Y向上的空載諧振頻率   3.1    4.2   千赫茲

Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲

帶負(fù)載時X、Y向上的諧振頻率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫茲

負(fù)載容量 10 10 牛

陶瓷類型 PICA, PICA Shear PICA Shear

其他 工作溫度范圍 -20 到 80 -20 到 80 °C

材料 鈦金屬 鈦金屬

尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米

30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米

質(zhì)量 225 190 克

電纜長度 1.5 1.5 米

傳感器/電壓連接 Sub-D24W7（公頭） Sub-D24W7（公頭）

*電控 E-536 E-536

訂購信息

P-363.2CD PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

P-363.3CD PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

德國PI P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀