離子濺射儀是為電鏡制樣設(shè)計(jì)的離子濺射噴金儀，實(shí)現(xiàn)離子在樣品表面濺射,形成金屬薄膜。
當(dāng)需要使用掃描電子顯微鏡（SEM）分析圖像或成分時(shí)，由于非導(dǎo)電物體的充電現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致圖像失真，使正常測(cè)量變得困難。由于電子束在非導(dǎo)電樣品表面積聚帶電粒子，導(dǎo)致圖像失真，因此必須進(jìn)行濺射（涂層）工藝。
離子濺射儀特點(diǎn)
使用7英寸觸摸顯示屏進(jìn)行方便的控制
2.真空→ 自動(dòng)涂層→ 一鍵式通風(fēng)口控制
3.庫(kù)：保存頻繁使用條件（zui多10個(gè)）
4.樣品樁7根（Φ14㎜) 在室內(nèi)一起安裝
5.防止樣品被低壓涂層損壞（1至10mA）
6.通過(guò)緊湊的尺寸zui大限度地減少安裝空間
離子濺射儀規(guī)格參數(shù)
真空度：2.0 x 10-1Torr
離子電流：1-10mA
靶材： 純金或Pt
樣品腔尺寸：Φ140mm(D) x 100mm(H)
樣品臺(tái)：Φ50mm(D) x 30mm(H)
靶材尺寸：Φ50mm(D)
濺射時(shí)間：1-600秒
真空泵：100L/min
尺寸：Main : 380(W)x240(D)x250(H)mm, 10kg
供電要求：110~220VAC ±10%, 50/60Hz
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