LED晶圓紫外固化機UH105是紫外LED固化系統(tǒng),用于高效晶片固化。與傳統(tǒng)的基于普通紫外燈的UV固化系統(tǒng)相比,這款具有更低的操作成本和按需固化的即時啟動能力。
LED晶圓紫外固化機UH105系列提供了與其他半自動和自動紫外線固化系統(tǒng)相同的紫外線曝光均勻性和快速固化時間,并具有低溫紫外線-a 365nm固化工藝,同時消除了臭氧和汞安全風險??焖賯魉拖到y(tǒng)推進晶片(并隨后在完成后將其排出),同時減慢并保持為固化編程的所需速度。
LED晶圓紫外固化機特點
-緊湊的桌面外形可容納高達8英寸(200mm)的夾持環(huán)或薄膜框架安裝晶片,以及高達8英尺(寬)x 12英尺(長)的矩形基板。
-LED紫外燈陣列,無臭氧且環(huán)保
-按需固化的即時啟動
-快速輸送系統(tǒng)在固化前后推進和排出基材
-與傳統(tǒng)系統(tǒng)相比,顯著降低了運營成本,包括極長的使用壽命、較低的燈具更換率和幾乎零停機時間
-非常穩(wěn)定的燈光強度,實現(xiàn)一致的處理
-使用易于編程的微處理器控制器調(diào)整曝光時間
-可重復(fù)、可靠、單幀、半自動操作
-的成本/性能價值
-低溫UVA 365nm固化工藝
-高效節(jié)能
-燈強度測量端口
LED晶圓紫外固化機
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