QCM 傳感器饋入件

INFICON 提供各種石英晶體監(jiān)測儀 (QCM) 傳感器饋入件，以適應多種 QCM 傳感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式饋入件提供電氣連接、水冷卻和空氣管的各種組合。INFICON 饋入件還配備了 Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭，用于輕松安裝和傳感器長度調整。根據要求可提供其他饋入件款式（KF40 等），因此請聯系 INFICON 提出您的饋入件需求。

除非另行說明，否則典型的饋入件電氣連接包含一個同軸 BNC 連接器（大氣端）和一個 Microdot®連接器（真空端）。此款式的電氣連接旨在與真空電纜傳感器（例如 INFICON 前裝式單傳感器、前裝式雙傳感器、薄型單傳感器、精選薄型雙傳感器、濺射傳感器、CrystalSix 和 Crystal 12 傳感器）配合使用。

備注：饋入件水管和空氣管為 4.8 mm (3/16 in.) 外徑。

備注：薄型雙傳感器使用 4.8 mm (3/16 in.) 外徑水冷管。它們與配備饋入件的 Ultra-Torr 不兼容，需要管接頭才能焊接到具有 4.8 mm (3/16 in.) 外徑水冷管的標準饋入件。

下表是基于傳感器類型的饋入件要求和零件號的快速參考。

功能

提供 2.54 厘米（1 英寸）螺栓或 CF40（2.75 英寸 ConFlat®）款式
可用的 Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭
提供自定義饋入件配置
根據要求可提供其他饋入件款式

零件號

QCM Sensor Feedthroughs
零件號	明細
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs	（附帶 VITON® O 形密封圈）
002-042	1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道
750-030-G1	1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜，3 個管道
750-707-G1	1 英寸螺栓饋入件，2 根同軸電纜，3 個管道
750-624-G1	1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道
783-501-013	1 英寸螺栓饋入件，1 根同軸電纜、2 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs	（包括銅墊圈）
002-043	CF40 饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道
750-685-G1	CF40 饋入件，1 根同軸電纜，3 個管道
002-080	CF40 饋入件，2 根同軸電纜，3 個管道
750-683-G1	CF40 饋入件，1 根同軸電纜，4 個管道
206-878-G2	CF40 螺栓饋入件，1 根同軸電纜、2 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭
750-685-G2	CF40 螺栓饋入件，1 根同軸電纜、3 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭
206-890-G2	CF40 螺栓饋入件，2 根同軸電纜、3 個管道，Ultra-Torr O 形密封圈壓縮接頭
KF40 Feedthroughs	（附帶 VITON® O 形密封圈）
130246	KF40 饋入件，1 根同軸電纜，2 個管道
130239	KF40 饋入件，1 根同軸電纜，3 個管道

附件

名稱	說明
帶蝶形螺母的夾環(huán)	帶蝶形螺母的夾環(huán)

QCM Sensor Feedthroughs
零件號	明細
782-902-022	BNC 到 Microdot® 適配器電纜，15.2 厘米（6 英寸）

備件

QCM Sensor Feedthroughs
零件號	明細
002-064	四環(huán)墊圈，VITON®，CF40
012-328	銅墊圈
070-0237	O 形密封圈，VITON®，2.54 厘米（1 英寸）螺栓
211-003	卡箍 DN 32-40 ISO-KF
211-070	中心環(huán)組件 DN 40 ISO-KF, Inox / FPM