Guardian EIES 控制器

可同時沉積至多八種材料

CIGS 薄膜的理想之選

Guardian 可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 ?/s 范圍內(nèi)。它可以操作一個或兩個傳感器，Z多 8 個光輸入，并控制Z多 8 個沉積源，因此能夠同時沉積Z多 8 種材料。

INFICON Guardian 是光伏模塊、有機(jī)發(fā)光二極管、光伏、超導(dǎo)薄膜以及分子束外延制造等應(yīng)用的理想之選。

Guardian Codeposition 系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。通過運(yùn)用 EIES，要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱，從而產(chǎn)生光子。產(chǎn)生的光通過濾光器，到達(dá)光電倍增管 (PMT)檢測儀，光電倍增管檢測儀可以測量通過的波長的發(fā)射強(qiáng)度。然后 INFICON Guardian 控制器產(chǎn)生信號來控制該材料源。配備了合適濾光器的其它檢測儀可用于多種材料。

一套完整的 Guardian 系統(tǒng)至少包括一個傳感器、一個 PMT 檢測儀、一個濾光器、一個 Guardian 控制器單元以及一臺安裝了 Guardian 軟件的電腦（由用戶提供）。 EIES 通常用于控制多種材料的沉積，因此，大多數(shù) EIES 系統(tǒng)還包括其他傳感器、檢測器、光學(xué)器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校準(zhǔn)或控制某些材料的沉積速率。如需關(guān)于典型系統(tǒng)的更多信息，請參閱下面的 Downloads（下載）選項卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 Guardian 共沉積系統(tǒng)，需要考慮以下幾點(diǎn)
沉積材料的初級和二級發(fā)射波長為多少？

如果不同材料的峰值過于相近，您可能需要監(jiān)控二級發(fā)射波長，二級波長的信號強(qiáng)度較弱。

在沉積過程中，真空室中存在哪些本底氣體？這些本底氣體的發(fā)射波長是多少？

如果本底氣體的發(fā)射干擾了沉積材料，則建議使用氣體補(bǔ)償傳感器。

對于特定發(fā)射光譜的原子種類， EIES 是Z為有效的。分子種類產(chǎn)生的發(fā)射光譜不穩(wěn)定或者過寬，無法準(zhǔn)確測量。不建議將 EIES 用于有機(jī)材料。各個具體應(yīng)用的 Z佳 EIES 系統(tǒng)配置由以上因素及其他因素確定。

功能

監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時沉積過程
從 0.1 至 10,000 ?/s 的沉積速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制
12 個繼電器輸出和 16 個數(shù)字輸入
用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容

規(guī)格

類型		Guardian EIES Controller
檢測器
光電倍增管 (PMT)		Hamamatsu R7518 or equivalent
光譜響應(yīng)		185 to 730 nm
檢測限值		Better than 5 fW of optical input power
PMT 增益		103 to 107 (detectors are independently adjustable)
輸出分辨率		20-bit
光入射口		Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
尺寸		2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
控制器
傳感器		016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in. 016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.
檢測器		Eight optical detector channels
控制輸出		Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
數(shù)字 I/O		12 relay outputs and 12 logic inputs
功率		100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
尺寸		19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
合規(guī)性		CE
用戶界面軟件：		Windows®-based setup program included with Controller
軟件顯示沉積速率：		4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 ?/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
軟件顯示厚度：		4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 K?
用戶自備計算機(jī)：		Any PC with Windows®Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface
傳感器
工作壓力		<5x10-4 Torr
溫度		450° C maximum during operation and/or bakeout
尺寸（近似）		0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
絲極壽命（典型值）		~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
傳感器饋入件連桿		Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
饋入件 / 法蘭		One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)

零件號

Guardian EIES Controller
零件號	明細(xì)
782-900-031	用于單傳感器（標(biāo)準(zhǔn)或氣體補(bǔ)償）的 Guardian 控制器
782-900-050	用于雙傳感器（標(biāo)準(zhǔn)或氣體補(bǔ)償）的 Guardian 控制器

附件

零件號	明細(xì)
EIES Sensors
016-600-G22	Guardian 標(biāo)準(zhǔn)單傳感器和饋入件組件，22 in. (539 mm)，CF40 法蘭
016-601-G22	Guardian 氣體補(bǔ)償傳感器和饋入件組件，22 in. (539 mm)，CF40 法蘭
Beam Splitters	光纖分束器可分割傳感器發(fā)出的光束以便于每個 EIES 傳感器測量多種材料。
782-900-034	Guardian 光纖分束器 (1:3) - 400 mm 長
782-900-034-x-yyy	Guardian 光纖分束器 (1:x) - yyy mm 長
Filament Cables	將 EIES 傳感器連接到 Guardian 控制器
600-1406-P10	Guardian 單絲電纜，10 ft. (3 m) – 用于標(biāo)準(zhǔn) EIES 傳感器
600-1406-P40	Guardian 單絲電纜，40 ft. (12 m) – 用于標(biāo)準(zhǔn) EIES 傳感器
600-1407-P10	Guardian 雙絲電纜，10 ft. (3m) – 用于氣體補(bǔ)償 EIES 傳感器
600-1407-P40	Guardian 雙絲電纜，40 ft. (12 m) – 用于氣體補(bǔ)償 EIES 傳感器
PMT Detector
782-900-030	Guardian PMT 檢測器
PMT Detector Cables	將 PMT 檢測器連接到 Guardian 控制器
782-505-065	Guardian 檢測器電纜，10 ft. (3 m)
782-505-065-40	Guardian 檢測器電纜，40 ft. (12 m)
Optical Filters	選擇適合您材料的波長
782-900-035-202	光纖 - 202nm，BP10nm (Zn)
782-900-035-241	光纖 - 241nm，BP10nm（Co、Au）
782-900-035-252	光纖 - 252nm，BP10nm (Si)
782-900-035-265	光纖 - 265nm，BP10nm（Ge、Pt、Ta、Ir）
782-900-035-267	Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294	光纖 294nm，BP2nm (Hf)（Ga [使用氣體補(bǔ)償傳感器時]）
782-900-035-304	光纖 304nm，BP2nm（Ba、In [使用氣體補(bǔ)償傳感器時]）
782-900-035-325	光纖 - 325nm，BP10nm（Cu、Cd）
782-900-035-358	光纖 - 358nm，BP10nm（Nb、U、Cr）
782-900-035-364	光纖 - 364nm，BP10nm（Ti、Pb）
782-900-035-396	光纖 - 396nm，BP10nm (Al)
782-900-035-417	光纖 - 417nm，BP2nm (Ga)
782-900-035-451	光纖 - 451nm，BP5nm (In)
782-900-070	Guardian 單色儀套件

備件

零件號	明細(xì)
016-201-G1	Emitter Assembly, EIES Sensor
782-900-038	Guardian 光電倍增管更換
016-509-G22	In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
782-530-015	Guardian 傳感器絲極更換（用于中斷的 782-900-029 和 -052 傳感器）