無(wú)電極設(shè)計(jì)
-低雜物/低消耗成本
使用氮?dú)猱a(chǎn)生的2-4nm軟X射線
-啟用臺(tái)式SXR顯微鏡應(yīng)用
等離子體尺寸小
-直徑小于1mm的高亮度
經(jīng)濟(jì)高效且緊湊
-每SXR瓦特成本低
-占地面積小
Energetiq EQ-10SXR源包括一個(gè)19英寸的機(jī)架，該機(jī)架包含氣體子系統(tǒng)，功率傳輸子系統(tǒng)和控制電子設(shè)備；無(wú)電極Z-pinch源組件及其集成的真空泵；以及高效脈沖調(diào)制器。這種模塊化設(shè)計(jì)可輕松集成EQ-10SXR能夠?qū)⒏哌_(dá)400毫瓦的2.8nm功率提供給2pi球面弧度，并能夠以高達(dá)2kHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運(yùn)行。
為了適應(yīng)各種應(yīng)用的不同要求，源工作條件是用戶可調(diào)的。可以根據(jù)用戶要求針對(duì)峰值功率或峰值亮度優(yōu)化光輸出。在典型的操作條件下，等離子體的直徑通常小于1mm。
在無(wú)電極SXR源組件的正面為用戶提供了一個(gè)簡(jiǎn)單而靈活的光學(xué)接口，以連接到應(yīng)用設(shè)備。自定義界面可滿足特定的客戶要求。用戶界面通過彩色觸摸屏顯示進(jìn)行操作，并包含允許手動(dòng)和自動(dòng)操作的菜單。EQ-10SXR易于安裝，僅需電源，冷水供應(yīng)，清潔的干燥壓縮空氣和高純度氮?dú)饧纯伞?/p>
用于水窗顯微鏡和6.7nm研發(fā)的軟X射線源
氣體選擇：使用的NIST光譜數(shù)據(jù)庫(kù)
相對(duì)強(qiáng)度高的搜索線：只有出現(xiàn)的氣體是氖氣
操作參數(shù)
430 V，1100 Hz
5.5 kW
400 mtorr
輸出功率：70 W
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