光刻機(jī)又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)，紫外曝光機(jī)等；ECOPIA為的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，多年來(lái)致力于掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)和勻膠機(jī)研發(fā)與生產(chǎn)，并且廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域；該公司是目前早將光刻機(jī)商品化的公司之一，擁有雄厚的技術(shù)研發(fā)力量和設(shè)備生產(chǎn)能力；并且其設(shè)備被眾多企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校所采用；以優(yōu)秀的技術(shù)、的工藝和良好的服務(wù)，贏得了用戶的青睞。

產(chǎn)地：韓國(guó)ECOPIA公司；

型號(hào)：M-150

技術(shù)規(guī)格：

- 掩模尺寸：7英寸；

- 樣品尺寸：6英寸；

- 卡盤(pán)移動(dòng)：X,Y,Z,Theta軸手動(dòng)，楔形補(bǔ)償調(diào)平；

- 紫外光源：6.25" X 6.25"；

- 光源功率：350瓦紫外燈；

- 光源均勻性：<+/-3%；

- 光源365nm波長(zhǎng)強(qiáng)度：30毫瓦；

- 顯微鏡：雙顯微鏡系統(tǒng)；

- 顯微鏡移動(dòng)：X,Y,Z軸手動(dòng)調(diào)節(jié)；

- 顯微鏡物鏡空間：50-150mm；

- 標(biāo)配放大倍率：80X-400X；

- 顯示器：20" LCD；

- 曝光時(shí)間：0.1-999秒；

- 接觸模式：真空接觸，硬接觸，軟接觸，接近接觸(距離可調(diào))；

- 對(duì)準(zhǔn)精度：1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode)；

- 電源：220V，單相，15安培；

主要特點(diǎn):

- 光源強(qiáng)度可控；

- 紫外曝光，深紫外曝光(Option)；

- 系統(tǒng)控制：手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)控制；

- 曝光模式：真空接觸模式(接觸力可調(diào)),Proximity接近模式, 投影模式；

- 真空吸盤(pán)范圍可調(diào)；

- 技術(shù)：可雙面對(duì)準(zhǔn)，可雙面光刻，具有IR和CCD模式

- 雙CCD顯微鏡系統(tǒng)，放大1000倍，顯示屏直接調(diào)節(jié)，比傳統(tǒng)目鏡對(duì)準(zhǔn)更方便快捷，易于操作。

- 特殊的基底卡盤(pán)可定做；

- 具有楔形補(bǔ)償功能；