技術(shù)參數(shù)：

1 電子槍能量范圍：200 eV ~ 20 keV；

2 電子槍工作距離：10 mm ~ 1000 mm；

3 電子束偏轉(zhuǎn)角度：±6o @ 10 keV；

4 電子槍束流：1 nA ~ 100 μA ；

5 束斑尺寸：15 mm ~ 50 mm；

6 陰極材料：Y₂O₃/BaO/Ta；

7 計(jì)算機(jī)／遠(yuǎn)程控制能力：通過(guò)50針D-sub/RS-232接口；

8 反饋穩(wěn)定功能：發(fā)射電流控制；

9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍：2 µs ~ DC，重復(fù)頻率可到5 kHz；(Option)

10 脈沖寬度調(diào)制范圍：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 法拉第杯；(Option)

EGG-3104 / EGPS-3104型電子槍產(chǎn)品介紹