技術(shù)參數(shù)：

1 電子槍能量范圍：50 eV ~ 5 keV；

2 電子槍工作距離：20 mm ~ 100 mm；

3 電子束偏轉(zhuǎn)角度：±3.5° @ 5 keV；

4 電子槍束流：1nA ~ 100 µA；

5 束斑尺寸：1 mm ~ 10 mm；

6 陰極材料：Ta (真空要求1 x 10^-5 Torr)；

7 計算機(jī)/遠(yuǎn)程控制能力：通過50針D-sub/RS-232接口；

8 反饋穩(wěn)定功能：發(fā)射電流控制；

9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍：2 µs ~ DC，重復(fù)頻率可到5 kHz；(Option)

10 脈沖寬度調(diào)制范圍：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 電子槍在真空中的長度為180 mm；(Option)

EGL-2022 / EGPS-2022型電子槍產(chǎn)品介紹