氣敏微型真空探針臺真空冷臺鄭科探 KT-Z165M4LT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

     氣敏微型真空探針臺真空冷臺鄭科探 腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

    低溫真空探針臺是一種利用液氦/液氮快速制冷并為晶片、器件和材料（薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等）提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。該低溫真空探針臺可以對材料或器件進行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量。