主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。
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超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺技術(shù)參數(shù) | |
| 加熱溫度 | 35-350℃ |
| 溫控誤差 | ±1℃ |
| 熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 |
| 溫控表 | 宇電溫控器 |
| 程序控溫 | 1段（可選30段程序控溫表） |
| 加熱功率 | ≤300W |
| 加熱電源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量 | 6kg |
| 真空探針熱臺 | |
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
| 加工方式 | 一體式CNC精加工 |
| 內(nèi)腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
| 加熱臺尺寸 | Φ30mm |
| 觀察窗內(nèi)徑 | Φ46mm |
| 觀察窗材質(zhì) | 高透光石英玻璃 |
| 加熱溫度 | 400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。 |
| 信號輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米 |
| 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 500V |
| 抽氣口 | KF16 |
| 進氣口 | 6MM卡套 |
| 使用正壓 | ≤O.05MPa |
| 使用負壓 | 機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
| 觀察窗內(nèi)徑 | φ45 |
| 移動探針 | |
| 探針規(guī)格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
| 上下移動距離 | 2mm |
| 前后移動距離 | 20mm |
| 左右旋轉(zhuǎn)距離 | 120° |
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