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OTF-1200X-5-III-F3LV 帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng) 返回列表頁

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更新時(shí)間：2025-01-26 22:49:14瀏覽次數(shù)：5次

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帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng)，可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)。

功能特點(diǎn)

雙層殼體，配有冷系統(tǒng)，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。
一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)。
采用三個(gè)獨(dú)立PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。
已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺(tái)	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風(fēng)裝置	需要
電源	單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保險(xiǎn)絲）
石英管	外徑?125mm，內(nèi)徑120mm，長(zhǎng)1400mm，帶有一對(duì)真空密封法蘭
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲
加熱區(qū)域	溫區(qū)I長(zhǎng)229mm，溫區(qū)II長(zhǎng)457mm，溫區(qū)III長(zhǎng)229mm，總長(zhǎng)915mm
恒溫區(qū)域	三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為625mm，溫區(qū)II為110mm
工作溫度	1200℃，連續(xù)工作1100℃
升降溫速率	20℃/min
控溫精度	±1℃
熱電偶	K型
浮子流量計(jì)	3個(gè)，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
數(shù)字真空計(jì)	10-4torr
管式爐尺寸	1080mm×430mm×600mm
重量	70kg