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OTF-1200X-4- C4LVS 1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系返回列表頁

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更新時(shí)間：2025-01-27 06:05:42瀏覽次數(shù)：5次

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OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。

功能特點(diǎn)

雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)；
雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管；
四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體；
配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵；
爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫；

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長爐膛的使用壽命爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作
電源	電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱溫度	溫度: 1100°C 連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)	加熱區(qū)長度: 440mm 恒溫區(qū)長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系選擇: 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
加熱和冷卻速度	的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，請(qǐng)點(diǎn)擊下圖可以看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。 ( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 ) 加熱冷卻
石英管	外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm ) 內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1500 mm )
真空法蘭	一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個(gè)高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空爐子底部裝有一對(duì)滑軌爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入樣品所在的位置左法蘭(點(diǎn)擊放大) 右法蘭 (點(diǎn)擊方大)
溫控儀	溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng)	4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制. MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路: 4 路流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套一個(gè)混氣罐. 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖 MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
真空泵	安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr
作為基片用的25um厚的銅箔 (選配）	生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)	爐體: 550 x 380 x 520 移動(dòng)架: 600x600x597
凈重	300 lb
開門斷電	為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
保修期	一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）
認(rèn)證	CE 認(rèn)證
凈重	約85 Kg
使用注意事項(xiàng)	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）